新聞資訊
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中國,上海—2024年3月20日,半導(dǎo)體行業(yè)盛會 SEMICON China 2024啟幕,全球高端半導(dǎo)體設(shè)備制造商德國PVA TePla集團再次亮相,并向行業(yè)展示其最新打造的國產(chǎn)碳化硅晶體生長設(shè)備“SiCN”。該設(shè)備專為中國市場定制,并結(jié)合半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)特點,將德國的設(shè)計經(jīng)驗和理念與中國本土化生產(chǎn)配套能力優(yōu)勢聯(lián)合,采用PVT法(物理氣相傳輸工藝)生產(chǎn)碳化硅晶體,計劃于2024年第二季度投入市場。

PVA TePla亮相SEMICONChina2024
“作為PVA TePla在華打造的首款國產(chǎn)碳化硅晶體生長設(shè)備,‘SiCN’旨在幫助我們更好地滿足本土化需求,為中國市場提供成熟穩(wěn)定的工藝設(shè)備,進一步幫助合作伙伴提升市場競爭力?!钡聡鳳VA TePla集團半導(dǎo)體業(yè)務(wù)中國區(qū)負責(zé)人謝秀紅表示,“中國已成為全球第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中碳化硅襯底制造的重要基地。PVA TePla在晶體生長設(shè)備設(shè)計和制造領(lǐng)域積累了豐富的經(jīng)驗,未來將持續(xù)致力于加強本土化供應(yīng)鏈建設(shè),完善本土團隊的技術(shù)服務(wù)能力,助力中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。”
打造首款國產(chǎn)碳化硅晶體生長設(shè)備
在中國,電動汽車和諸多新興行業(yè)的蓬勃發(fā)展為碳化硅襯底材料帶來廣闊機遇。碳化硅半導(dǎo)體材料的生產(chǎn)技術(shù)日漸成熟穩(wěn)定,并已形成相當(dāng)?shù)墓I(yè)規(guī)模。作為最早將碳化硅晶體設(shè)備引入中國市場的企業(yè)之一,德國PVA TePla集團始終致力于融合中德前沿技術(shù)優(yōu)勢。“SiCN”融匯了中國的本土化采購、生產(chǎn)配套能力和德國的技術(shù)積累和傳承,通過設(shè)備更好的可靠性和一致性運行,有效提高良品率,在降低制造成本的同時達到更優(yōu)效益,幫助下游客戶有效提高最終產(chǎn)品的附加值和核心競爭力。

PVA TePla碳化硅晶體生長設(shè)備
·定制化:特定的晶體生長工藝通常是企業(yè)的高度機密,定制化晶體生長平臺對于驗證和優(yōu)化其工藝至關(guān)重要。PVA TePla可為客戶提供專業(yè)定制化解決方案,以滿足行業(yè)獨特的工藝和知識產(chǎn)權(quán)需求,從而實現(xiàn)無縫擴展以進行大規(guī)模生產(chǎn)。
·靈活性:“SiCN”的設(shè)計可采用和更換成熟供應(yīng)商的標(biāo)準(zhǔn)組件以及定制組件,保證設(shè)備可以使用最新的研發(fā)成果,實現(xiàn)持續(xù)的技術(shù)進步。
·可靠生產(chǎn):“SiCN”系統(tǒng)設(shè)計緊湊,自動化程度高,可最大化節(jié)約整體運營空間,同時方便維護,可實現(xiàn)可靠的大規(guī)模生產(chǎn)??蛻暨€可整合如加料小車、多種真空泵選項和測量設(shè)備等其他部件,進一步提升系統(tǒng)功能。
·高生產(chǎn)效能:晶體生長過程需要具備在超過2,000°C的高溫條件下長時間運行,因此優(yōu)異的能源效率可以實現(xiàn)更佳的成本效益。“SiCN”采用經(jīng)驗證的低能耗感應(yīng)線圈設(shè)計,實現(xiàn)高效率的感應(yīng)加熱,有效降低能耗,優(yōu)化生產(chǎn)成本。
德國PVA TePla集團已在全球范圍內(nèi)銷售SiC晶體生長系統(tǒng),并與全球領(lǐng)先的主流碳化硅襯底材料供應(yīng)商共同研發(fā)并為其提供長晶設(shè)備,其設(shè)備穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量一致性,在大尺寸碳化硅材料的研發(fā)過程中起到了關(guān)鍵作用。
建立中國供應(yīng)鏈與本土化配套服務(wù)
目前,德國PVA TePla集團已在中國建立生產(chǎn)基地、演示中心及供應(yīng)鏈中心,旨在將高端設(shè)備國產(chǎn)化,以更好地助力中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)提升和發(fā)展,特別是碳化硅晶體和大尺寸單晶硅片的生產(chǎn)。同時,為了貼合本土市場需求,德國PVA TePla集團也在進一步完善本地團隊技術(shù)服務(wù),加強與下游合作伙伴的研發(fā)合作,并且提供更加專業(yè)化、定制化的本地支持,幫助合作伙伴更加便捷、快速的實現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)能力。
隨著中國成為全球碳化硅的重要生產(chǎn)基地,德國PVA TePla集團將持續(xù)深耕中國市場,加強本土化生產(chǎn)供應(yīng)與配套服務(wù)能力,深化本地創(chuàng)新研發(fā)合作,助力中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。
發(fā)布日期: 2024-06-05
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