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中國科大自刻蝕技術(shù)攻克材料難題 二維半導(dǎo)體加工獲重大突破,實現(xiàn)原子級“馬賽克”異質(zhì)結(jié)可控構(gòu)筑

發(fā)布日期:2026-01-16     0 次

1 月 16 日消息,據(jù)新華社昨日報道,中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)張樹辰特任教授團隊聯(lián)合美國普渡大學(xué)、上海科技大學(xué)的研究團隊在新型半導(dǎo)體材料領(lǐng)域取得突破性進展,成果已發(fā)表于《自然》。

聯(lián)合團隊首次在二維離子型軟晶格材料中,實現(xiàn)了面內(nèi)可編程、原子級平整的“馬賽克”式異質(zhì)結(jié)可控構(gòu)筑,為低維光伏材料的集成化與器件化開辟了全新路徑。

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離子型軟晶格低維材料,尤其是二維有機–無機雜化鈣鈦礦,因其高光致發(fā)光量子產(chǎn)率以及可在低溫溶液條件下實現(xiàn)的大面積、工藝兼容制備,被廣泛認為是新一代電致發(fā)光與光電器件的重要候選體系。然而,現(xiàn)有研究與器件多依賴多晶薄膜結(jié)構(gòu),其內(nèi)部普遍存在晶界缺陷、界面粗糙以及顯著的離子遷移行為,難以維持原子級結(jié)構(gòu)完整性,從而嚴重限制了載流子輸運效率及器件性能的進一步提升。

相比之下,二維鈣鈦礦薄層單晶在晶格完整性、缺陷密度和界面可控性方面具有天然優(yōu)勢,被視為突破上述瓶頸的理想平臺。然而,如何在二維鈣鈦礦單晶中實現(xiàn)高質(zhì)量、可控外延的橫向異質(zhì)結(jié)圖案化,同時保持界面原子級平整與晶格連續(xù)性,長期以來仍是該領(lǐng)域面臨的關(guān)鍵科學(xué)挑戰(zhàn)。

另一方面,對于具有長程有序結(jié)構(gòu)的單晶體系,晶格畸變不可避免地在晶體內(nèi)部積累內(nèi)應(yīng)力。這種內(nèi)應(yīng)力可在局域區(qū)域誘導(dǎo)能量不穩(wěn)定性,在特定化學(xué)環(huán)境中激活面內(nèi)點缺陷的產(chǎn)生與演化,從而為實現(xiàn)溫和、選擇性強的面內(nèi)刻蝕過程提供潛在物理基礎(chǔ)。然而,如何精準(zhǔn)調(diào)控并利用這一內(nèi)應(yīng)力效應(yīng),仍缺乏清晰的實驗路徑與機制認知。

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▲ 內(nèi)應(yīng)力驅(qū)動的二維鈣鈦礦面內(nèi)刻蝕與圖案化策略

在此基礎(chǔ)上,中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)張樹辰特任教授進一步合作提出了一種基于配體輔助異丙醇(IPA)激活晶體內(nèi)應(yīng)力的自刻蝕二維鈣鈦礦圖案化策略。研究首先通過界面法獲得大面積、超薄的二維鈣鈦礦單晶,隨后,在精心設(shè)計的配體–IPA 溶液體系中誘導(dǎo)晶體發(fā)生可控的面內(nèi)自刻蝕,形成規(guī)則取向的方形孔洞結(jié)構(gòu)。通過延長醇鏈(例如使用辛醇)有效降低溶解速率,使刻蝕過程更加溫和且可控;結(jié)合圖案化掩膜技術(shù),還可進一步實現(xiàn)周期性陣列化結(jié)構(gòu)的構(gòu)筑。

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▲ 二維鈣鈦礦面內(nèi)馬賽克異質(zhì)結(jié)結(jié)構(gòu)

高分辨透射電子顯微鏡(HRTEM)與幾何相位分析(GPA)結(jié)果表明,刻蝕后晶體內(nèi)部應(yīng)變顯著釋放且分布趨于均勻;同時,實空間形變分析以及貫穿多層的刻蝕行為進一步證實了晶體內(nèi)應(yīng)力在刻蝕過程中的主導(dǎo)作用。這些結(jié)果系統(tǒng)揭示了異丙醇–配體協(xié)同刻蝕的物理本質(zhì),為二維鈣鈦礦的精細圖案化與結(jié)構(gòu)調(diào)控提供了新的機理基礎(chǔ)。進而,利用反溶劑誘導(dǎo)的快速側(cè)向外延策略,將不同鹵素組成的二維鈣鈦礦精準(zhǔn)填充至刻蝕孔洞中,成功構(gòu)筑出馬賽克式面內(nèi)異質(zhì)結(jié)結(jié)構(gòu)。與傳統(tǒng)強溶劑處理或紫外光圖案化方法相比,該策略具有過程溫和、晶格無損傷等顯著優(yōu)勢,可獲得界面清晰、厚度均一且周期可設(shè)計的高質(zhì)量二維鈣鈦礦橫向異質(zhì)結(jié)構(gòu)。


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